深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO COVANCE-MPR 等離子表面處理系統

femto COVANCE-MPR 等離子表面處理系統
COVANCE-MPR 等離子表面處理系統 產品規格

真空室:190 × 240 × 160(W × D × H / mm)
氣 路:標準一路氣體(最多3路氣體,MFC)
電 源:50kHz,200W
操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
壓力監測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項:電源功率升級(最大300W)
    射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
    粉末處理系統
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